Das mit der Kamera wollte ich auch vorschlagen.
Ich habe mir das mal bei einem BEkannten angesehen.
Die werten damit bestückte Platinen aus.
Ist da nur ein winziges SMD Bauteil oder eine Schraube vergessen worden wird das erkannt.
Ansonsten zum selbstbau bei grösseren Elementen vielleicht mit einen Laserscanner, der abstand und Durchmesser erkennen kann.
Einen Scanner (Rotor) der den Laserstahl in 0.1 mm Absand, bezogen auf den Abstand zum Bauteil, nach ein ander in einer Reihe aussendet.
Optische Auswertung wann der Strahl auf ein Objekt trifft.
Vielleicht ein Stück hinter dne Messpunkt ein 2 cm rundes Stahlstück anbringen, dann kann er sich falls kein Bauteil da ist referenzieren.
Durch den Abstand der Strahlen lässt sich auch leicht die Entfernung berechnen. Hier hättest du eine Toleranz von +/- ca. 0.06 mm.
Sollte es noch feiner sein einfach besseren Scanner verwenden, da kostet dann aber einer ca. 1000 Euro (brutto)